Système de mesure optique pour l’analyse de surface 3D utilisant le principe d’interférométrie a lumière blanche. La conception du système permet une analyse rapide et ultra précise tout en offrant une grande flexibilité de configuration et de logiciels d’analyse.

-Mesure avec une résolution nanométrique
-Champ de mesure jusqu'à 50 x 50 mm
-Rapport d’aspect 1 :10 (profilage d’un trou de 1x10 mm de profondeur)
-Très économique

Capteurs optiques par principe interférométrique appliqué à la mesure d’épaisseur de films minces transparents et de matériaux transparents à l’infrarouge. L’utilisation de sources lumineuses infra-rouge et lumière blanche permet d’étendre le champ des applications possibles.

Principe interférométrique appliqué à la mesure d’épaisseur de films minces transparents.
Cette technique de mesure par source de lumière blanche est applicable à des matériaux humides ou secs pour la mesure d’épaisseur de film ou de fluide ou encore de gaps d’air.

• Sources Halogen, Xenon et LED disponibles
• Matériaux transparents ou translucides
• Epaisseur mesurable de 2 μm à 250 μm
• Vitesse de mesure jusqu’à 66kHz
• Excellente résolution latérale
• Résolution axial nanométrique
• CHRocodile S, 2S, SE, 2 SE, E, LR et M4

Principe interférométrique appliqué à la mesure d’épaisseur de matériaux transparents à l’infrarouge
Des matériaux opaques visuellement comme certains plastiques ou le silicium peuvent être mesurés en utilisant une source et un photo-détecteur infrarouge

• Plusieurs sources SLD disponibles
• Epaisseur mesurable de 4 μm à 15 mm
• Indépendant de la couleur et de la température
• Vitesse de mesure jusqu’à 70kHz
• Capteurs dédiés pour les wafers rugueux, dopés et ultrafin.
• Facile à intégrer en ligne de production ou avec d’autres capteurs
• Excellente résolution latérale
• Systèmes multicanaux disponibles
• CHRocodile IT, RW, DW, LR et TW