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Nom Description
Série VDM
Série VDM
Solution intégrée de générateur de vapeur VDM (Vapor Delivery Modules) utilisée dans les processus de dépôts de vapeur et de couches minces de protection pour la production de semi-conducteurs, de transistors et de panneaux solaires et également pour l'étalonnage d'analyseurs (chromatographes gaz et des spectromètres de masse), pour des anesthésies et pour l'humidification de piles à combustibles ou d’atmosphères gazeux.

● Régulateur de débit liquide (thermique ou Coriolis)
● Débit de Liquide (entrée) : 0…120 g/h
● Un ou deux régulateurs de débit massique pour gaz vecteur
● Débit de Gaz (entrée) : 0,05…10 ln/min
● Chambre de mélange et d'évaporation régulée en température
● Débit de vapeur (sortie) : 0,05…10 ln/min*
● P1 : jusqu’à 10 barg*
● P2 : à vide….5barg
● Température ambiante : 5…40 ºC
● Température maximum : 200
● Écran TFT 1,8, boutons de lecture et de commande du système
● Communication numérique RS232 ou FLOW-BUS
● Modules compacts, prêts à l'emploi
● Débits de vapeurs (saturées) 100 sccm à 10 SLM.
● Contrôle Évaporation Mélange (CEM) pour les processus à pression atmosphérique ou sous vide pour vaporiser mélanges et solvants contenant des solides dissous.
● En option : régulateur de débit massique supplémentaire pour la dilution, et d'un dispositif de contrôle thermique
local ou à distance
Sytème CEM
Sytème CEM
Le système CEM (évaporateur régulé) est un nouveau moyen de générer des vapeurs de liquide pour des applications à pression atmosphérique ou sous vide. Le CEM comprend un régulateur de débit liquide, un régulateur de débit massique pour le gaz vecteur et une chambre de mélange / évaporation régulée en température. Le système CEM remplace parfaitement les bulleurs.
W-101A
W-101A
Le système CEM (évaporation et mélange contrôlé) est un système innovateur de livraison de liquide (LDS) qui peut être appliqué pour des processus atmosphériques ou vide (vacuum). Il comporte un contrôleur de débit, un MFC et un dispositif de contrôle et mélange de température et d'évaporation. Ce système peut mélanger des écoulements liquides de 2g/h ayant pour résultat des écoulements saturés de vapeur jusqu'à 1ln/min. Ce système peut remplacer les barboteurs.
W-102A
W-102A
Le système CEM (évaporation et mélange contrôlé) est un système innovateur de livraison de liquide (LDS) qui peut être appliqué pour des processus atmosphériques ou vide (vacuum). Il comporte un contrôleur de débit, un MFC et un dispositif de contrôle et mélange de température et d'évaporation. Ce système peut mélanger des écoulements liquides de 10g/h ayant pour résultat des écoulements saturés de vapeur jusqu'à 1ln/min. Ce système peut remplacer les barboteurs.
W-202A
W-202A
Le système CEM (évaporation et mélange contrôlé) est un système innovateur de livraison de liquide (LDS) qui peut être appliqué pour des processus atmosphériques ou vide (vacuum). Il comporte un contrôleur de débit, un MFC et un dispositif de contrôle et mélange de température et d'évaporation. Ce système peut mélanger des écoulements liquides de 100g/h ayant pour résultat des écoulements saturés de vapeur jusqu'à 10ln/min. Ce système peut remplacer les barboteurs.
W-303
W-303
Le système CEM (évaporation et mélange contrôlé) est un système innovateur de livraison de liquide (LDS) qui peut être appliqué pour des processus atmosphériques ou vide (vacuum). Il comporte un contrôleur de débit, un MFC et un dispositif de contrôle et mélange de température et d'évaporation. Ce système peut mélanger des écoulements liquides de 1000g/h ayant pour résultat des écoulements saturés de vapeur jusqu'à 100ln/min. Ce système peut remplacer les barboteurs.
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