De par leur construction, les débitmètres et régulateurs massiques pour gaz sont sensibles aux contaminations de poussières, huile, humidité, copeaux métalliques. Afin d'augmenter la MTBF (Moyenne des temps de bon fonctionnement), il est important de s'assurer que le gaz traversant l'appareil soit propre. Les filtres Combi-Flow assurent ce rôle. Le filtre peut être changé sans démonter le module de base de la tuyauterie.