Système de mesure, conçu pour mesurer l’états de surface, profondeur de gravure et la planéité.

- Spécifications type : 0,5µ/50mm, poids: inf. 3 kgs
- Échelle de mesure de 130 µm à 3.5 mm
- Tables croisées modulaires de faible encombrement
- Capteur optique confocal chromatique 1Khz sur bus ou 4 Khz
- Logiciel AltiSurf50

Système de mesure optique 2D et 3D très compact et portatif conçu pour la topographie de surface, la rugosité, l’analyse de formes et la métrologie dimensionnelle.

•Capteur optique confocal chromatique
•Fréquence d’échantillonnage : 1kHz a 4 kHz
•Résolution : 0.02 µ
•Course: 25 x 25 x 25 mm
•Vitesse: jusqu’a 30 mm/s
•PC industriel

Système de multi sonde, conçu pour analyser la surface de composant, étudier la reconstruction morphologique de l’échantillon.

- Plateforme de métrologie modulaire 100X100X100mm
- Spécifications - type : 2nm/mm, sigma/step inf. 3nm
- Jusqu’à 5 sondes embarquées indexées
- Jusqu’à 4 axes motorisés cc: XYZW
- Codeurs 0,1µm
- Correction non-linéaire des axes

Système de mesure, conçu pour analyser les états de surface et formes. Cycles circonférentiels, cycles axiaux, topographie 3D, défectologie.

- Spécifications : plus/moins 360°, rés.10-3°, 80°/sec, voilage plus/moins 12,5µrad, Pt.
type spec: 0,4µ/50mm, capa Ra type: 0,04µ…
- Plateau rotatif et table croisée
- Capteurs mécaniques 2µ et petit alésage
- Capteur optique confocal chromatique optionnel
- 5 axes motorisés cc

PheNIX est la technologie de référence sur les marchés de la métrologie des surfaces, mesurant en CND sans contact tous types de substrats en procédé et en embarqué dans la ligne.

• Packs OEM pour la mesure de profils et surfaces selon ISO 25178
• Packs de retrofit de machines en GOOD AS NEW
• Métrologie des surfaces sans contact
• Axes de 25mm à 600mm CC, stepper & piezo linéaires
• Gamme de mesure de 100µm up à 27mm
• Résolution verticale à partir de 1 nm
• Multiples outils d’analyse AltiMap automatiques